六氟化硫
四川润泰特种气体有限公司主营氦气、电子特种气体、同位素、标准气体等。
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六氟化硫 |
杂质信息 |
气瓶规格 |
充装体积 |
瓶阀出口 |
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六氟化硫 5.0N |
O2+Ar |
≤2ppm |
10L 40L |
11KG 50KG |
G5/8 CGA590 |
N2 |
≤2ppm |
||||
CF4 |
≤0.5ppm |
||||
CO |
≤0.5ppm |
||||
CO2 |
≤0.5ppm |
||||
CH4 |
≤0.5ppm |
||||
C2F6 |
≤0.5ppm |
||||
C3F8 |
≤0.5ppm |
||||
H2O |
≤3ppm |